au-osm-z系列單軸壓電掃描臺采用壓電陶瓷直推驅(qū)動,以柔性鉸鏈為運動副,使其具有結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、無機械摩擦、定位分辨率高等優(yōu)點。全行程采用電容位移傳感器閉環(huán)反饋設(shè)計,精度可達到亞納米量級。采用革命性雙傳感器技術(shù),這一尖端的控制技術(shù)與以往相比,可實現(xiàn)更快、更準(zhǔn)確以及更穩(wěn)定的顯微鏡物鏡聚焦。 全新雙傳感器技術(shù)克服了傳統(tǒng)納米定位系統(tǒng)的限制,可提供更快的階躍響應(yīng),提高有效載荷出現(xiàn)變化時的穩(wěn)定性,并且顯著增加自動顯微術(shù)應(yīng)用時的機械帶寬
更新時間:2025-06-13