au-nps-xyz系列納米定位工作臺(tái)采用壓電陶瓷直推驅(qū)動(dòng),以柔性鉸鏈為運(yùn)動(dòng)副,使其具有結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、無機(jī)械摩擦、定位分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。全行程采用電容位移傳感器閉環(huán)反饋設(shè)計(jì),使其達(dá)到納米級(jí)的分辨率和重復(fù)性。結(jié)合數(shù)字閉環(huán)控制器,納米定位工作臺(tái)的響應(yīng)時(shí)間和穩(wěn)定時(shí)間可達(dá)到毫秒量級(jí)。靈活的模塊化組合可以提供不同特點(diǎn)的三維微動(dòng)臺(tái),滿足不同類型的高分辨率的顯微鏡。
更新時(shí)間:2025-06-13