���^��������ɫ�V����x��ָ����2005��ˎ��һ������ɫ�V���跨�����Ї�ˎƷ�z�˜ʲ���Ҏ(gu��)�����еġ�����ɫ�V���跨������ˎƷ�z�x���z��Ҏ(gu��)�̡��еġ�����ɫ�V����x�z��Ҏ(gu��)�̡���Ԕ��Ҏ(gu��)������뮟�-�u���M�Ϲ�Դ����ɫ�x��x-y�Ƅ�ƽ�_�M�������L�ʴ_�ȣ�≤±5nm������Ư�ƣ�≤±0.5abs��������•��≤±0.02abs�� �؏�(f��)���`�rsd≤2.0%�����跽�����չ�_�������¶��ϒ���ķdz����ͱ���ɫ�V����x��

���ӳ������x�Ǟ��˝M�㮔(d��ng)ǰ����ɫ�V�����Լ���ˎ������Ҫ�O(sh��)Ӌ���®a(ch��n)Ʒ��̎���ٶȿ�ͷֱ��ʸ�,���Ҿ�������С�����Ժõ��������x���ɹ�Դ����W(xu��)�ɘ�ϵ�y(t��ng)������ɫ�Vɫ�V����վ���󲿷ֽM��������ɫ�V����վ��Ŀǰ����(n��i)�_�l(f��)�����ܛ��֮һ�����x����ȫ�ԄӵĿ���ͬ�r߀�Ɍ�����ɫ�V���c�M�ж���̎�������������c�M�ڮa(ch��n)Ʒ������M��ˎ�S����У�ճ���������Ҫ��ʡ�rʡ����������ҵĺ�������yoko-2000�ͱ���ɫ�V����ϵ�y(t��ng)��ʹ�óɱ��͡�