nre-4000��һ���ʽrie����(y��ng)�x�ӿ��gϵ�y(t��ng)����������ԡ�^���w�ֲ��b���Լ�ˮ��rf��Ʒ.���в��P䓹����Լ�13"�����wʽ�A�����Xǻ,���ھ��AƬ�b�d.ǻ�w�Ѓɂ��˿�:һ������2"��ҕ��,��һ�����������\��.ԓϵ�y(t��ng)����֧�����12���ľ��AƬ��ǻ�w�鳬���O(sh��)Ӌ�����Ҹ���(j��)������ձÿ����_��10-6 torr ���С�ĘO�������ԓϵ�y(t��ng)ϵ�y(t��ng)������20mtorr��8torr֮�g������¹�������ձýM����һ����(ji��)���y,һ��250l/s�Ĝu݆���ӱ�,�V�W(w��ng)�^�V��,�Լ�һ��10cfm�ęCе��(��formblin����).rf���l����ͨ�^600w,13.56mhz���Դ���Ԅ��{(di��o)�C���ṩ��ϵ�y(t��ng)�����m(x��)�O(ji��n)��ֱ����ƫ��,ԓ��ƫ�����Ը��_-500v.�@���ڸ����ԵĿ��g���P(gu��n)��Ҫ��
���r�g:2025-01-06