無掩模光刻機vpg 300 di是一款體積圖案發(fā)生器,為在 i 線光刻膠中直接寫入高分辨率微結(jié)構(gòu)而設(shè)計。它源自掩模制作工具,具有所有先進(jìn)的 vpg 系統(tǒng)組件,能夠以高的精度和準(zhǔn)確度進(jìn)行書寫。大寫入?yún)^(qū)域覆蓋 300 mm 晶圓。
mpo 100雙光子聚合直寫光刻機是一種雙光子聚合 (tpp) 多用戶工具,用于微結(jié)構(gòu)的 3d 光刻和 3d 顯微打印,適用于微光學(xué)、光子學(xué)、微機械學(xué)和生物醫(yī)學(xué)工程。模塊化 3d 打印平臺 mpo 100 可按需提供高精度 3d 光刻以及 3d 顯微打印的高打印量,并能夠在單個工藝步驟中以高吞吐量生產(chǎn)復(fù)雜的功能性微結(jié)構(gòu)。