�x����B:  Talysurf CCI���S�ǽ��|��ò�x����CCI���������g(sh��)����λ����㷨������ԭ�����ɸ߾��Ȝy��������ò������ֲڶȼ��P(gu��n)�I�ߴ�����Ӌ(j��)���P(gu��n)�I��λ����e���w�e����Ҫ��(y��ng)���ڔ�(sh��)��(j��)�惦�������댧(d��o)�w��������W(xu��)�ӹ��Լ�MEMS/MOEMS���g(sh��)�Լ����Ϸ����I(l��ng)����

MMD-220A��݆���xͨ����  ��Ҏ(gu��)����(sh��):�A��̎�����돽���A�ľ�ȣ����c(di��n)��̎�����Ƕ�̎����ֱ���ȡ�͹��������(sh��)����������R����������(bi��o) 

��(d��o)܉ֱ���ԣ���0.2��m/100mmʾֵ�`�0.6%-0.15%��2��mZ���̣�10mmZ����q��/����:1/65536X�����̣���220mmX���ŷ��q�ʣ�1��m�������{(di��o)ƫ�����_���C���{(di��o)���_������V�ι����_����y�^��б�y�^���F�y�^

MMD-100B �� ݆���x �߾�����  ��Ҏ(gu��)����(sh��):�A��̎�����돽���A�ľ�ȣ����c(di��n)��̎�����Ƕ�̎����ֱ���ȡ�͹��������(sh��)����������R����������(bi��o)��(d��o)܉ֱ���ԣ���0.2��m/80mm 

ʾֵ�`�0.8%-0.1%��2��mZ���̣�10mmZ����q��/����:1/65536X�����̣���100mmX���ŷ��q�ʣ�1��mӢ���������{(di��o)ƫ�����_���C���{(di��o)���_������V�ι����_����y�^��б�y�^���F�y�^

MMD-220B �� ݆���x �߾�����  ��Ҏ(gu��)����(sh��):�A��̎�����돽���A�ľ�ȣ����c(di��n)��̎�����Ƕ�̎����ֱ���ȡ�͹��������(sh��)����������R����������(bi��o) 

��(d��o)܉ֱ���ԣ���0.15��m/100mmʾֵ�`�0.5%-0.1%��1��mZ���̣�10mmZ����q��/����:1/65536X�����̣���220mmX���ŷ��q�ʣ�0.05��mӢ���������{(di��o)ƫ�����_���C���{(di��o)���_������V�ι����_����y�^��б�y�^���F�y�^