늻��W(xu��)CL2��������Ҫ���c(di��n)����(y��ng)�ã��͹���                                                      �߾���                                                 ���`����                                       ���Է����� ���ɔ_������(qi��ng)���؏�(f��)�Ժͷ�(w��n)���ԏV���m�Ϲ��I(y��)���V�¼��h(hu��n)����CL2�ęz�y(c��)����Ҫ���g(sh��)����(sh��)���a(ch��n)Ʒ��̖(h��o) ME3-CL2�a(ch��n)Ʒ��� 늻��W(xu��)���w�������a(ch��n)Ʒ���b ���Ϸ��b��ME3���z�y(c��)���� 0—10ppm���y(c��)���� 100ppm�A(y��)�ډ��� 2���`���� 0.6±0.15uA/ppm�ֱ��� 0.1ppmʹ�Üضȷ��� ��20�桫+50��ʹ�É������� ��(bi��o)��(zh��n)��≺±10��푑�(y��ng)�r(sh��)�g��T80�� ≤60S��ȷ��� 15????��—90��RH�o���Y(ji��)���c(di��n)Ư�ƣ���20�桫+40�棩 ≤0.2ppm��(w��n)���ԣ����£� ��2��ؓ(f��)�d��裨���]�� 10Ω�؏�(f��)�� ��2��ݔ��ֵݔ�����Զ� ����