雷尼紹絕對值式光柵擁有精細(xì)柵距和出色的抗污能力,其超凡的技術(shù)指標(biāo)更是位置反饋領(lǐng)域的一大新突破。專利技術(shù)采用高精度直線鋼帶和因鋼柵尺,在超高工作速度下可實現(xiàn)1 nm的分辨率。采用獨創(chuàng)的30 μm柵距單碼道絕對式光學(xué)柵尺和精密光學(xué)系統(tǒng)。這確保了寬松的安裝公差、±40 nm的超低電子細(xì)分誤差 (sde) 和小于10 nm rms的超低噪聲(抖動),能夠?qū)崿F(xiàn)更穩(wěn)定的速度控制性能和超強的位置穩(wěn)定性。
更新時間:2025-09-10