采用關(guān)鍵矽微機(jī)械加工技術(shù)的ms流量傳感器具有測量微小、小流量的優(yōu)勢的mems( microelectromechanical systems)氣體質(zhì)量流量計和流量控制器,主要應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。該產(chǎn)品能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是可靠性高、重復(fù)性好,壓損小,無可動部件,量程比寬,響應(yīng)時間較快。
更新時間:2025-09-10