SFT9400ϵ���Ͼ�僌Ӻ�Ȝy(c��)��?j��)x��X�侀�ɹ�僌Ӻ�Ȝy(c��)��?j��)x��SFT9400ϵ�У�,

�a(ch��n)Ʒ��(ji��n)��

�����a(ch��n)Ʒ�����Q(ch��ng)���ɝM(m��n)�����жȌӺ�Ȝy(c��)��������p�z�y(c��)����僌Ӻ�Ȝy(c��)��?j��)x �����a(ch��n)Ʒ��̖(h��o)��SFT9400��SFT9450��SFT9455 �����a(ch��n)Ʒ���c(di��n)�� ��������d�и߹���X�侀�ܼ��p�z�y(c��)�����댧(d��o)�w�z�y(c��)��������Ӌ(j��)��(sh��)�ܣ� �����Ɍ�(du��)��(y��ng)�M�Ϗ�(f��)�s�đ�(y��ng)�ó����؄e�ǿ��R(sh��)�eNi��Cu֮�(l��i)�����^��ӽ���Ԫ���� �����܉�?q��)�Ni��Cu��Au��Ni��Cu�ڲ�ʹ�ö��ΞV��������r���M(j��n)�Мy(c��)�� ������(du��)�ں�Br���·�壬���Բ���Br�ĸɔ_��(du��)Au��僌Ӻ���M(j��n)�и߾��ȵĜy(c��)�� �����ɜy(c��)��0.01μm���µij�����Au僌Ӻ�� ��������d�K�wFP�l(f��)ܛ���ͱ�ĤFP��ܛ�� ������(du��)��(y��ng)���U�ĺϽ��Ĥ�Ͷ����Ĥ�����m���ڏV�����\(y��n)���I(l��ng)�� �������m�ó�΢С��e�Ĝy(c��)�� ������(bi��o)��(zh��n)����15μmΦ�Ĝ�(zh��n)ֱ�����Ɍ�(du��)��΢С��e�M(j��n)�Мy(c��)���� ��������d�˿�3���ГQ��׃�����W(xu��)ϵ�y(t��ng) ��������з��_ײ���� ��������d�߾��Ș�Ʒƽ�_(t��i)�����ɜy(c��)�����;�·�壨SFT9455�� ��������d���⌦(du��)��ϵ�y(t��ng) ��������d�y(c��)ԇ��(b��o)���Ԅ�(d��ng)����ܛ�� ���� �����a(ch��n)Ʒ���������� �������ˌ�(du��)��(y��ng)��ӹ��I(y��)��(d��ng)��Խ��(l��i)Խ��(f��)�s��僽�ˇ���O(sh��)Ӌ(j��)������������SFT9300�Ļ��A(ch��)������(j��)�Įa(ch��n)Ʒ�����^����SFT9300��75W�߹���X�侀����߀����p�z�y(c��)�����댧(d��o)�w�z�y(c��)��������Ӌ(j��)��(sh��)�ܣ�����SFT9000ϵ���)(j��)�ęC(j��)�����ܝM(m��n)��“��Ĥ僌�”��“�Ͻ�僌�”��“��΢С��e�y(c��)��”��僌Ӻ�Ȝy(c��)������ĸ�����僌Ӻ�Ȝy(c��)��?j��)x��������SFT9400ϵ��߀�ڜy(c��)��僌Ӻ�ȵĻ��A(ch��)�ϣ������˿Ɍ�(du��)��ͬ���y(c��)���w�e�����M(j��n)�ж��Է����ͳɷַ����Ĺ����� �����a(ch��n)Ʒ��B�� ����SFT9400ϵ�Юa(ch��n)ƷҎ(gu��)�� ������̖(h��o)��SFT9400��SFT9450��SFT9455 �����x�������L(zh��ng)��΢С��e��(du��)��(y��ng)���������� �����ɜy(c��)��Ԫ�أ�ԭ����̖(h��o)22��Ti����83��Bi�� ����X�侀Դ��С�Ϳ՚���s�͸߹���X�侀����Mo�У� ������늉���50kV�������1.5mABe�� �����V������һ�ΞV������Mo-�Ԅ�(d��ng)�ГQ �������ΞV�������o(w��) �������䷽ʽ:�Ϸ���ֱ���䷽ʽ �����z�y(c��)��:�댧(d��o)�w�z�y(c��)��������Ӌ(j��)��(sh��)�ܣ�����Һ���ęz�y(c��)���� �����x��У��:�Ԅ�(d��ng)У�����ք�(d��ng)У�� ������(zh��n)ֱ������(bi��o)��(zh��n)���ã�:���ͣ�4�N�� ������ȫ����:��Ʒ���T(m��n)�i����Ʒ���_ײ���� ������Ʒ�D��(du��)��:�У����⌦(du��)���� ������Ʒ�^��:CCD�z���^�����ʹ�W(xu��)�����u��?z��)����?�������c(di��n)�ГQ����:3���ГQ9400��10��40��70mm ����9450��10��25��40mm ����X-rayStation  �_(t��i)ʽ��X ������OS��MS-WindowsXP®�� ������ӡ  ��ī��ӡ�C(j��) ������(y��ng)��  �Ό����p�ӡ���ɷֺϽ�Ĥ���ɷֱ�ͬ�r(sh��)�y(c��)�������W(xu��)� ����ܛ��  �K�wFP��ܛ������ĤFP��ܛ�� �����y(c��)�����ܣ��Ԅ�(d��ng)�y(c��)���������������D���R(sh��)�e̎�� �����������ܣ�������������֪��Ʒ�������˹�ݔ������ �����y(t��ng)Ӌ(j��)̎�����ܣ�MS-EXCEL® ������(b��o)���������ܣ�MS-WORD®

ԓ��˾�a(ch��n)Ʒ���(l��i)�� �ɹ���� ����� ������� ���΃x �h(hu��n)���� �y(c��)��x ���� ���� �o(w��)�p�z�y(c��) �Ƙ��O(sh��)�� Ӳ��Ӌ(j��) ԇ�(y��n)�C(j��) Ԫ�ط��� �x������� �����x�� �z�y(c��)�x�� ԇ�(y��n)�C(j��)

SFT9300�Ͼ�X�侀�ɹ�僌Ӻ�Ȝy(c��)��?j��)x

�a(ch��n)Ʒ��(ji��n)��

�����m�����֙C(j��)�����΢С����Ӳ����Ș�Ʒ����(zhu��n)�T(m��n)�����΢�͜�(zh��n)ֱ������С15μm����75W��50kV��1mA���߹���X�侀�����M(m��n)��y(c��)��΢С�^(q��)�򼰸߾��ȵ��������y(c��)����Ʒ��΢С���r(sh��)�c�����ęC(j��)�N������ó���ͬ�ȵ�ǰ���´��s���˜y(c��)���r(sh��)�g����SFT9300��SFT9350��SFT9355������ �����a(ch��n)Ʒ��B�� ����SFT9300ϵ�Юa(ch��n)ƷҎ(gu��)�� ������̖(h��o)��SFT9300��SFT9350��SFT9355 �����x�������L(zh��ng)��΢С��e��(du��)��(y��ng)�� �����ɜy(c��)��Ԫ�أ�ԭ����̖(h��o)22��Ti����83��Bi�� ����X�侀Դ��С�Ϳ՚���s�͸߹���X�侀����Mo�У� ������늉���50kV�������1.5mABe�� �����V������һ�ΞV������Mo-�Ԅ�(d��ng)�ГQ �������ΞV������Co-�Ԅ�(d��ng)�ГQ �������䷽ʽ���Ϸ���ֱ���䷽ʽ �����z�y(c��)��������Ӌ(j��)��(sh��)�� �����x��У�����Ԅ�(d��ng)У�� ������(zh��n)ֱ������(bi��o)��(zh��n)���ã������ͣ����N�� �������ͣ����N�� ������ȫ���ܣ���Ʒ���T(m��n)�i����Ʒ���_ײ���� ������Ʒ�D��(du��)�����У����⌦(du��)���� ������Ʒ�^�죺CCD�z���^�����ʹ�W(xu��)�����u��?z��)����?�������c(di��n)�ГQ���ܣ�3���ГQ9300��10��40��70mm ����9350��10��25��40mm ������(y��ng)��  �Όӡ��p������ɷֺϽ�Ĥ���ɷֱ�ͬ�r(sh��)�y(c��)�������W(xu��)� ����ܛ��  �K�wFP��ܛ������ĤFP��ܛ�� �����y(c��)�����ܣ��Ԅ�(d��ng)�y(c��)���������������D���R(sh��)�e̎�� �����������ܣ�������������֪��Ʒ�������˹�ݔ������ �����y(t��ng)Ӌ(j��)̎�����ܣ�MS-EXCEL® ������(b��o)���������ܣ�MS-WORD®

ԓ��˾�a(ch��n)Ʒ���(l��i)�� �ɹ���� ����� ������� ���΃x �h(hu��n)���� �y(c��)��x ���� ���� �o(w��)�p�z�y(c��) �Ƙ��O(sh��)�� Ӳ��Ӌ(j��) ԇ�(y��n)�C(j��) Ԫ�ط��� �x������� �����x�� �z�y(c��)�x�� ԇ�(y��n)�C(j��)

SFT9200�Ͼ�X�侀�ɹ�僌Ӻ�Ȝy(c��)��?j��)x��SEIKOSFT3000���M(j��n)�C(j��)��

�a(ch��n)Ʒ��(ji��n)��

�����Ǹ��M(j��n)SEIKOSFT3000�����е�һ�N�®a(ch��n)Ʒ��������SFT3000ϵ�Л](m��i)�еļ��⌦(du��)�����Ԅ�(d��ng)��Ʒ�_(t��i)�ȹ��ܣ�ʹʹ���߲�������(ji��n)�����ݵăx�����c����x����Ⱦ���2048ͨ����MCA�ɘӷ����·�����pС�˷����`������5�N�A�������Μ�(zh��n)ֱ�������ܘ�Ʒ�Π��Ӱ��܉�����M(j��n)�Мy(c��)���� ���� �����a(ch��n)Ʒ��B�� ������̖(h��o)��SFT9200��SFT9250��SFT9255 �����x�������L(zh��ng)���V����(y��ng)���� �����ɜy(c��)��Ԫ�أ�ԭ����̖(h��o)22��Ti����83��Bi�� ����X�侀Դ��С�Ϳ՚���s�͸߹���X�侀����W�У� ������늉���45kV�������1mABe�� �����V������һ�ΞV������A1-�Ԅ�(d��ng)�ГQ �������ΞV������Co-�Ԅ�(d��ng)�ГQ �������䷽ʽ���Ϸ���ֱ���䷽ʽ �����z�y(c��)��������Ӌ(j��)��(sh��)�� �����x��У�����Ԅ�(d��ng)У�� ������(zh��n)ֱ������(bi��o)��(zh��n)���ã������ͣ����N�� �������ͣ����N�� ������ȫ���ܣ���Ʒ���T(m��n)�i����Ʒ���_ײ���� ������Ʒ�D��(du��)�����У����⌦(du��)���� ������Ʒ�^�죺CCD�z���^�̶����ʡ��u��?z��)����?�������c(di��n)�ГQ���ܣ�3���ГQ9200��10��40��70mm ����9250��10��25��40mm ������(y��ng)��  �Ό����p�ӡ���ɷֺϽ�Ĥ���ɷֱ�ͬ�r(sh��)�y(c��)�����o(w��)늽�懣����ɜy(c��)5�ӣ� ����ܛ��  ��ĤFP��ܛ�� �����y(c��)�����ܣ��Ԅ�(d��ng)�y(c��)���������������D��̎�� �����������ܣ�������������֪��Ʒ�������˹�ݔ������ �����y(t��ng)Ӌ(j��)̎�����ܣ�MS-EXCEL® ������(b��o)���������ܣ�MS-WORD®

ԓ��˾�a(ch��n)Ʒ���(l��i)�� �ɹ���� ����� ������� ���΃x �h(hu��n)���� �y(c��)��x ���� ���� �o(w��)�p�z�y(c��) �Ƙ��O(sh��)�� Ӳ��Ӌ(j��) ԇ�(y��n)�C(j��) Ԫ�ط��� �x������� �����x�� �z�y(c��)�x�� ԇ�(y��n)�C(j��)

SFT-110���Ͼ�X�侀�ɹ�僌Ӻ�Ȝy(c��)��?j��)x

��SFT-110����Ҫ������1. ͨ�^(gu��)�Ԅ�(d��ng)��λ������߲����Ԝy(c��)����Ʒ�r(sh��)�������軨�M(f��i)�s10��Ę�Ʒ��(du��)�����F(xi��n)��3���(n��i)������ɣ������ߘ�Ʒ��λ�IJ�������2. ΢�^(q��)Ĥ��y(c��)���������ͨ�^(gu��)�sС�c��Ʒ�g�ľ��x������ʹ��΢С��(zh��n)ֱ����0.1��0.2mm������Ҳ�܉��������Ĥ��y(c��)���ľ�����3. ���_(d��)5�ӵĶ�僌Ӝy(c��)��ʹ�ñ�ĤFP��ܛ������ʹ�](m��i)�к�Ș�(bi��o)��(zh��n)ƬҲ���M(j��n)�ж��_(d��)5��10Ԫ�صĶ�僌Ӝy(c��)����4. �V���^��ϵ�y(t��ng)���x�䣩�ɏ����250×200mm�Ę�Ʒ���w�D��y(c��)��λ����5. ��(du��)��(y��ng)����ӡˢ��·�壨�x�䣩�Ɍ�(du��)600×600mm�Ĵ���ӡˢ��·���M(j��n)�Мy(c��)����6. �̓r(ji��)λ�c�����C(j��)�������������˹������ֽ���20%���ϵăr(ji��)�񡣣���Ҫ�a(ch��n)ƷҎ(gu��)��ݙz�y(c��)���� ����Ӌ(j��)��(sh��)��X�侀Դ�� ����ʽС��X�侀�ܜ�(zh��n)ֱ���� 0.1��0.2mmφ2�N��Ʒ�^�죺 CCD�z���^��Ʒ�_(t��i)�Ƅ�(d��ng)����250��X��×200��Y��mm��Ʒ���߶ȣ�150mm
ԓ��˾�a(ch��n)Ʒ���(l��i)�� �ɹ���� ����� ������� ���΃x �h(hu��n)���� �y(c��)��x ���� ���� �o(w��)�p�z�y(c��) �Ƙ��O(sh��)�� Ӳ��Ӌ(j��) ԇ�(y��n)�C(j��) Ԫ�ط��� �x������� �����x�� �z�y(c��)�x�� ԇ�(y��n)�C(j��)

SII�ձ�����X�侀�ɹ�僌Ӻ�Ȝy(c��)��?j��)xSFT110�Ǽ������

    �a(ch��n) Ʒ �f(shu��) ��

������

    ���ż��y(c��)��10������50nm�ĘO����僌Ӝy(c��)����

    �ɟo(w��)��(bi��o)�Ӝy(c��)����ͨ�^(gu��)��Ʒ���w�D��������x��y(c��)��λ����

 

��Ҫ���c(di��n)��

  1.ͨ�^(gu��)�Ԅ�(d��ng)��λ������߲����� �y(c��)����Ʒ�r(sh��)�������軨�M(f��i)�s10��Ę�Ʒ��(du��)�����F(xi��n)��3���(n��i)������ɣ����

    ��ߘ�Ʒ��λ�IJ�������    2.΢�^(q��)Ĥ��y(c��)��������� ͨ�^(gu��)�sС�c��Ʒ�g�ľ��x������ʹ��΢С��(zh��n)ֱ����0.1��0.2mm������Ҳ������

    �����Ĥ��y(c��)���ľ��ȡ�    3.���_(d��)5�ӵĶ�僌Ӝy(c��)�� ʹ�ñ�ĤFP��ܛ������ʹ�](m��i)�к�Ș�(bi��o)��(zh��n)ƬҲ���M(j��n)�ж��_(d��)5��10Ԫ�صĶ�僌Ӝy(c��)����    4.�V���^��ϵ�y(t��ng)���x�䣩 �ɏ����250×200mm�Ę�Ʒ���w�D��ָ���y(c��)��λ�á�    5.��(du��)��(y��ng)����ӡˢ��·�壨�x�䣩 �Ɍ�(du��)600×600mm�Ĵ���ӡˢ��·���M(j��n)�Мy(c��)����    6.�̓r(ji��)λ �c�����C(j��)�������������˹������ֽ���20%���ϵăr(ji��)����

 

�a(ch��n)ƷҎ(gu��)��

   

 

ԓ��˾�a(ch��n)Ʒ���(l��i)�� �῵ ��Ҏ(gu��)���Ƕȳ���ˮƽ�x ����Ҏ(gu��)�� ���K���y(c��)��Ҏ(gu��) �y(c��)�L(zh��ng)�x ��(sh��)�a���̴�ӡ�C(j��) �������N�������� ��(sh��)�@�����ٷֱ����ܗU�� ���ߡ�ǧ�ֳ���΢���^ ����ԇ�(y��n)�C(j��) ���P�� ����(gu��)ʩ̩�� �|������ ������(bi��o)�y(c��)���C(j��) Ϳ�Ӝy(c��)��x 僌Ӝy(c��)��x �y(c��)��ͶӰ�x��Ӱ��y(c��)��?j��)x �����ƽ��ˮ�֜y(c��)ԇ�x ɫ�������Ӌ(j��) �X݆�y(c��)��?j��)x �@΢�R����(n��i)�Q�R

SII�ձ�����X�侀�ɹ�僌Ӻ�Ȝy(c��)��?j��)xSFT9400ϵ�Ѓr(ji��)�����

  �a(ch��n) Ʒ �f(shu��) ��

������

    SFT9000ϵ������õęC(j��)��“SFT9455”�����d75W����X�侀�ܺ��p�ؙz�(y��n)�b�ã��댧(d��o)�w�z�(y��n)�b��ʮ��

    ��Ӌ(j��)��(sh��)�ܣ����m��“��Ĥ”��“����Ĥ”��“�O΢С���֜y(c��)��”�������ĤĤ��y(c��)��Ҫ��ĸ�����Ĥ

    ��y(c��)��?j��)x�������� “SFT9455”���Ĥ��Ȝy(c��)�����ܵĻ��A(ch��)��߀�����������ﶨ�Է����Ͳ��ϳɷַ�����

 

��Ҫ���c(di��n)��

    ���d�p����x���z�y(c��)�����댧(d��o)�w�z�y(c��)��+����Ӌ(j��)��(sh��)�ܣ������d��X�侀�����ֱ����ϣ���(y��u)��İ댧(d��o)�w�z�y(c��)��
    ��������Һ��������Ӌ(j��)��(sh��)�ʃ�(y��u)��ı���Ӌ(j��)��(sh��)�����܉����(j��)�\(y��n)����Ҫ��(du��)��(y��ng)ʹ�������c(di��n)�ǰ댧(d��o)�w�z�y(c��)�����܉�
    �^(q��)��Ni��Cu�@�����Ƶ�Ԫ�����������µ����c(di��n)��
  1.�܉�?q��)�Ni/Cu��Au/Ni/Cu����Ҫ�����^(gu��)�V����r���M(j��n)�Мy(c��)����
  2.��(du��)�ں�Br�Ĵ�ӡ������������������Br�ɔ_�M(j��n)�и߾��ȵ�Au�Ĥ��Ȝy(c��)����������
  3.�܉�y(c��)��0.01μm���˜O����Au�Ĥ��
  4.��ĤFPܛ������(du��)��(y��ng)���U�ĺϽ��Ĥ�Ͷ����Ĥ�����m���ڏV�����\(y��n)���I(l��ng)����
  5.�m�Üy(c��)���O΢С����,15μmΦ�Ĝ�(zh��n)ֱ�ܞ��(bi��o)��(zh��n)�b�����܉�y(c��)��΢С�����Ĥ���������
  6.���d75W������X�侀�ܡ�
  7.���׌�(du��)΢С�I(l��ng)���M(j��n)���^�������d����4�A���ГQ�Ŀ�׃�����W(xu��)ϵ�y(t��ng)��
  8.�܉�y(c��)�����ʹ�ӡ����Ĵ���ƽ�_(t��i)��
  9.����(j��)�������܉��^�������y���^��Ę�Ʒ��
 10.���d�˷�ֹ�а�͹�Ę�Ʒ��ײ�Ă�������
 11.�����ŷ��R�_(d��)���_���(q��)��(d��ng)ƽ�_(t��i)��
 12.���_�Č�(du��)��,���ü����܉����_�Ì�(du��)���y(c��)ԇ��Ʒ��
 13.��(b��o)������ܛ��,�\(y��n)��΢ܛ��ܛ���܉�(ji��n)�εðќy(c��)���Ĕ�(sh��)��(j��)�����ɕ�(sh��)����ϡ�
 
�a(ch��n)ƷҎ(gu��)��
     
 

ԓ��˾�a(ch��n)Ʒ���(l��i)�� �῵ ��Ҏ(gu��)���Ƕȳߡ�ˮƽ�x ����Ҏ(gu��)�� ���K���y(c��)��Ҏ(gu��) �y(c��)�L(zh��ng)�x ��(sh��)�a���̴�ӡ�C(j��) �������N�������� ��(sh��)�@�����ٷֱ����ܗU�� ������ǧ�ֳߡ�΢���^ ����ԇ�(y��n)�C(j��) ���P�� ����(gu��)ʩ̩�� �|������ ������(bi��o)�y(c��)���C(j��) Ϳ�Ӝy(c��)��x 僌Ӝy(c��)��x �y(c��)��ͶӰ�x��Ӱ��y(c��)��?j��)x �����ƽ��ˮ�֜y(c��)ԇ�x ɫ�������Ӌ(j��) �X݆�y(c��)��?j��)x �@΢�R����(n��i)�Q�R

SII�ձ�����X�侀�ɹ�僌Ӻ�Ȝy(c��)��?j��)x�A�υ^(q��)�����؃�(y��u)�r(ji��)

�a(ch��n) Ʒ �f(shu��) ��

������

    X�侀�l(f��)��ϵ�y(t��ng)��X�侀�۽���W(xu��)ϵ�y(t��ng)���۽���(d��o)�ܣ��cX�侀Դ��Y(ji��)�ϣ����ҿ����������(sh��)�H����ֱ��

    �� 0.1mmφ���¸ߏ�(qi��ng)�ȵ�X�侀������������Ԍ�(du��)����X�侀�ɹ�僌Ӻ�Ȝy(c��)��?j��)x�������䏊(qi��ng)�Ȳ����

    �o(w��)���õ����뾫�ȵČ�(d��o)����������^�����Ծ�·���΢С��������Ĥ�M(j��n)�Мy(c��)����ͬ�r(sh��)���d��Ӌ(j��)��(sh��)����

    �߷ֱ��ʵİ댧(d��o)�w�z�y(c��)�����ڜy(c��)��僌Ӻ�ȵ�ͬ�r(sh��)��Ҳ�܌�(du��)RoHS��ELV���Ї�(gu��)��RoHS�ȷ�Ҏ(gu��)�����Ƶ�

    �к����|(zh��)�M(j��n)�з����y(c��)����

 

��Ҫ���c(di��n)��

  1.X�侀�l(f��)��ϵ�y(t��ng)�����˾۹⌧(d��o)�� ���ڲ�����X�侀�۹⌧(d��o)�ܷ�ʽ���ɵõ�����ʮ�����ϵ�X�侀��(qi��ng)����

    �Ķ��������΢С��Ʒ��Ĥ��y(c��)�����к����|(zh��)�y(c��)���ľ��ȡ�

  2.�o(w��)��Һ���İ댧(d��o)�w�z�y(c��)�� ���M(j��n)�б�Ĥ�y(c��)���c�к����|(zh��)�ĝ�Ȝy(c��)���r(sh��)���߷ֱ��ʵęz�y(c��)���DZز����ٵ���

    SFT9500�ęz�y(c��)�����������_(d��)���߷ֱ��������ҿ��Ԍ�(sh��)�F(xi��n)��Ӌ(j��)��(sh��)����ͬ�r(sh��)������ʹ���������s��ʽ��

    ���ԟo(w��)��Һ����

  3.���Vƥ��ܛ�����x����� ��˲�g�R(sh��)�eδ֪��Ʒ�c���ȴ�n��X�侀���V��(k��)����һ��(g��)��Ʒ�^��ӽ���ܛ����

    ��(du��)�R(sh��)�e����ʮ����Ч��

  4.�K�w�z����ܛ�����m������Һ������ ���x����� �ɺ�(ji��n)�ε؜y(c��)������Һ����Ҫ���ٵĝ����

  5.�L�Dܛ�����x����� ��Ԫ��������ĽY(ji��)���M(j��n)�еȸ߾���ɫ��ʹ�õ�ҕ�X(ju��)̎����ܛ����

  6.��Һ�������x�����

  7.���N��(bi��o)��(zh��n)���|(zh��)���x�����

 

�a(ch��n)ƷҎ(gu��)��

     

 

ԓ��˾�a(ch��n)Ʒ���(l��i)�� �῵ ��Ҏ(gu��)���Ƕȳߡ�ˮƽ�x ����Ҏ(gu��)�� ���K���y(c��)��Ҏ(gu��) �y(c��)�L(zh��ng)�x ��(sh��)�a���̴�ӡ�C(j��) �������N�������� ��(sh��)�@�����ٷֱ����ܗU�� ���ߡ�ǧ�ֳ���΢���^ ����ԇ�(y��n)�C(j��) ���P�� ����(gu��)ʩ̩�� �|������ ������(bi��o)�y(c��)���C(j��) Ϳ�Ӝy(c��)��x 僌Ӝy(c��)��x �y(c��)��ͶӰ�x��Ӱ��y(c��)��?j��)x �����ƽ��ˮ�֜y(c��)ԇ�x ɫ�������Ӌ(j��) �X݆�y(c��)��?j��)x �@΢�R����(n��i)�Q�R

SII�ձ�����X�侀�ɹ�僌Ӻ�Ȝy(c��)��?j��)xSFT9300ϵ�Ќ�(zhu��n)ע����僌Ӝy(c��)��

  �a(ch��n) Ʒ �f(shu��) ��

������

    ����X�侀����Ĵ��d����(sh��)�F(xi��n)�˸߾��ȵĜy(c��)����������ϘO΢С��(zh��n)ֱ���͹�W(xu��)׃���R�^���Ԍ�(sh��)�F(xi��n)

    �O΢С���ֵĜy(c��)���������Ԍ�(du��)�иߵ�ƽ���Ę�Ʒ�M(j��n)�Мy(c��)����

 

��Ҫ���c(di��n)��

  1.���d��75W������X�侀����
  2.���d��(bi��o)��(zh��n)��Φ50μm΢С��(zh��n)ֱ�ܣ���СΦ15μm����
  3.���׌�(du��)΢С�I(l��ng)���M(j��n)���^�졣���d����4�A���ГQ�Ŀ�׃�����W(xu��)ϵ�y(t��ng)��
  4.����(j��)�����ܺ����׌�(du��)��ǰ�^�����y�Ę�Ʒ�M(j��n)���^�졣
  5.���d�˷�ֹ�а�͹�Ę�Ʒ��ײ�Ă�������
  6.���d�˽��c(di��n)�ГQ���ܣ��܉�?q��)��и߶ȵĘ�Ʒ�ĵͲ����M(j��n)�Мy(c��)����
  7.�����ŷ��R�_(d��)���_���(q��)��(d��ng)ƽ�_(t��i)��
  8.�\(y��n)�ü���۽����ܺ�(ji��n)�Ό�(sh��)�F(xi��n)λ�õ��{(di��o)����
 
�a(ch��n)ƷҎ(gu��)��
     
 
 

ԓ��˾�a(ch��n)Ʒ���(l��i)�� �῵ ��Ҏ(gu��)���Ƕȳ���ˮƽ�x ����Ҏ(gu��)�� ���K���y(c��)��Ҏ(gu��) �y(c��)�L(zh��ng)�x ��(sh��)�a���̴�ӡ�C(j��) �������N�������� ��(sh��)�@�����ٷֱ����ܗU�� ������ǧ�ֳߡ�΢���^ ����ԇ�(y��n)�C(j��) ���P�� ����(gu��)ʩ̩�� �|������ ������(bi��o)�y(c��)���C(j��) Ϳ�Ӝy(c��)��x 僌Ӝy(c��)��x �y(c��)��ͶӰ�x��Ӱ��y(c��)��?j��)x �����ƽ��ˮ�֜y(c��)ԇ�x ɫ�������Ӌ(j��) �X݆�y(c��)��?j��)x �@΢�R����(n��i)�Q�R

SII�ձ�����X�侀�ɹ�僌Ӻ�Ȝy(c��)��?j��)xSFT9200ϵ���A�υ^(q��)�������؃�(y��u)�r(ji��)

   �a(ch��n) Ʒ �f(shu��) ��

������

    �����ßɹ�X�侀ԭ�����Ĥ��Ȝy(c��)��Ӌ(j��)��SFTϵ���DZ���˾��(bi��o)��(zh��n)�C(j��)�������m��С�Ͳ�����SFT9200��

    ���m�ô���ӡˢ�����SFT9255����ֹ��Ʒ�̓x���b��Y(ji��)��(g��u)���ǺϵĹ����DZ�ϵ�еĘ�(bi��o)��(zh��n)�b����

��Ҫ���c(di��n)��

    ��SFT3000ϵ�еĺ��m(x��)�C(j��)�͡�
  1.����(j��)���������Կ�����ǰ�^�����y�Ę�Ʒ��
  2.���d�˷�ֹ�а�͹�Ę�Ʒ��ײ�Ă�������
  3.�\(y��n)�ü���۽����ܺ�(ji��n)�Ό�(sh��)�F(xi��n)λ�õ��{(di��o)����
  4.΢С�I(l��ng)����^��Ҳ�����������d����4�A���ГQ�Ŀ�׃����͸�R�������x��
  5.���d�˽��c(di��n)�ГQ���ܣ��܉�?q��)��и߶ȵĘ�Ʒ�ĵͲ����M(j��n)�Мy(c��)���������x��
 
�a(ch��n)ƷҎ(gu��)��
     
 

ԓ��˾�a(ch��n)Ʒ���(l��i)�� �῵ ��Ҏ(gu��)���Ƕȳߡ�ˮƽ�x ����Ҏ(gu��)�� ���K���y(c��)��Ҏ(gu��) �y(c��)�L(zh��ng)�x ��(sh��)�a���̴�ӡ�C(j��) �������N�������� ��(sh��)�@�����ٷֱ����ܗU�� ������ǧ�ֳ���΢���^ ����ԇ�(y��n)�C(j��) ���P�� ����(gu��)ʩ̩�� �|������ ������(bi��o)�y(c��)���C(j��) Ϳ�Ӝy(c��)��x 僌Ӝy(c��)��x �y(c��)��ͶӰ�x��Ӱ��y(c��)��?j��)x �����ƽ��ˮ�֜y(c��)ԇ�x ɫ�������Ӌ(j��) �X݆�y(c��)��?j��)x �@΢�R����(n��i)�Q�R

�ձ��o(w��)�pĤ��x�z�y(c��)��X�侀�ɹ�僌Ӻ�Ȝy(c��)��?j��)x��(r��n)�������A�υ^(q��)�������؃r(ji��)

�a(ch��n) Ʒ �f(shu��) ��

������

���ż��y(c��)��10������50nm�ĘO����僌Ӝy(c��)����

�ɟo(w��)��(bi��o)�Ӝy(c��)����ͨ�^(gu��)��Ʒ���w�D��������x��y(c��)��λ����

 

��Ҫ���c(di��n)��

1.ͨ�^(gu��)�Ԅ�(d��ng)��λ������߲����� �y(c��)����Ʒ�r(sh��)�������軨�M(f��i)�s10��Ę�Ʒ��(du��)�����F(xi��n)��3���(n��i)������������

��ߘ�Ʒ��λ�IJ������� 2.΢�^(q��)Ĥ��y(c��)��������� ͨ�^(gu��)�sС�c��Ʒ�g�ľ��x������ʹ��΢С��(zh��n)ֱ����0.1��0.2mm������Ҳ������

�����Ĥ��y(c��)���ľ��ȡ� 3.���_(d��)5�ӵĶ�僌Ӝy(c��)�� ʹ�ñ�ĤFP��ܛ������ʹ�](m��i)�к�Ș�(bi��o)��(zh��n)ƬҲ���M(j��n)�ж��_(d��)5��10Ԫ�صĶ�僌Ӝy(c��)���� 4.�V���^��ϵ�y(t��ng)���x�䣩 �ɏ����250×200mm�Ę�Ʒ���w�D��ָ���y(c��)��λ���� 5.��(du��)��(y��ng)����ӡˢ��·�壨�x�䣩 �Ɍ�(du��)600×600mm�Ĵ���ӡˢ��·���M(j��n)�Мy(c��)���� 6.�̓r(ji��)λ �c�����C(j��)����ȣ�������˹������ֽ���20%���ϵăr(ji��)����

 

�a(ch��n)ƷҎ(gu��)��

ԓ��˾�a(ch��n)Ʒ���(l��i)�� �῵ ��Ҏ(gu��)���Ƕȳ���ˮƽ�x ����Ҏ(gu��)�� ���K���y(c��)��Ҏ(gu��) �y(c��)�L(zh��ng)�x ��(sh��)�a���̴�ӡ�C(j��) �������N�������� ��(sh��)�@�����ٷֱ����ܗU�� ������ǧ�ֳ���΢���^ ����ԇ�(y��n)�C(j��) ���P�� ����(gu��)ʩ̩�� �|������ ������(bi��o)�y(c��)���C(j��) Ϳ�Ӝy(c��)��x 僌Ӝy(c��)��x �y(c��)��ͶӰ�x��Ӱ��y(c��)��?j��)x �����ƽ��ˮ�֜y(c��)ԇ�x ɫ�������Ӌ(j��) �X݆�y(c��)��?j��)x �@΢�R����(n��i)�Q�R

���®a(ch��n)Ʒ

���T(m��n)�x���� Һ��ɫ�V�x ����ɫ�V�x ԭ�ӟɹ���V�x ��Ҋ(ji��n)�ֹ���Ӌ(j��) Һ�|(zh��)“(li��n)�Ãx ����ԇ�(y��n)�C(j��) ���Ӌ(j��)��PHӋ(j��)�� �x�ęC(j��) �����x�ęC(j��) ����x�ęC(j��) �����@΢�R �����@΢�R ��(bi��o)��(zh��n)���|(zh��) ����ԇ��