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產(chǎn)品簡介

德國Sentech 反應離子刻蝕機 Etchlab 200，最大 8 英寸晶圓，硅及相關(guān)材料的蝕刻

詳細內(nèi)容

公司簡介

德國Sentech 反應離子刻蝕機 Etchlab 200

主要特點

·打開蓋子

·可升級

·成本效益

應用特點

·硅及相關(guān)材料的蝕刻

·金屬濺射

·亞微米蝕刻

技術(shù)特點

·600 瓦，13.56 MHz

·360 升/秒渦輪分子泵

·旋轉(zhuǎn)前級泵

·打開蓋子

·2-12 根燃氣管線

·最大 8 英寸晶圓

·占地面積小

·更多的氣體管線，更大的TP、OES、SLI 可選

關(guān)鍵詞：德國Sentech 反應離子刻蝕機 Etchlab 200 反應離子刻蝕機 Etchlab 200

深圳市藍星宇電子科技有限公司-藍星宇科技（香港）有限公司，經(jīng)過十多年的半導體/微電路/光電業(yè)技術(shù)沉淀，可以根據(jù)客戶特殊要求提供定制化服務，研發(fā)設(shè)計組裝：紫外臭氧清洗機（UV清洗機）, 晶圓清洗機，等離子清洗機/去膠機，超聲/兆聲清洗機等，擁有自主品牌利及注冊商標。

公司自成立以來一直注于半導體/微電路和光電/光學域的設(shè)備集成及技術(shù)服務，擁有一支在半導體制造、微電路及光電/光學等域經(jīng)驗豐富的業(yè)技術(shù)團隊。

我們代理歐美日多家高科技設(shè)備廠家高性價比產(chǎn)品, 始終堅持創(chuàng)新, 技術(shù), 服務, 誠信共創(chuàng)價值共贏的企業(yè)文化，為廣大中國及海外客戶提供先進的儀器設(shè)備和材料的整體解決方案。應用域: 半導體/微納加工，微電路，光電/光學, 材料科學等域的研發(fā)和生產(chǎn), 客戶群體例如高等院校, 研究院所，科技企業(yè)等。

目藍星宇科技已與眾多國際知名半導體制造設(shè)備及檢測設(shè)備企業(yè)建立了良好的長期合作關(guān)系：半導體/微納，光電/光學 產(chǎn)品主要有：德國ParcanNano（Nano analytik）針尖光刻機，電子束光刻機EBL, 激光直寫光刻機，紫外光刻機，微納3D打印機，德國Sentech刻蝕機/鍍膜機及原子沉積，英國HHV磁控/電子束/熱蒸發(fā)鍍膜機，日本愛發(fā)科ULVAC生產(chǎn)型磁控濺射裝置/干法刻蝕機，德國/法國微波等離子沉積機MPCVD，芬蘭Picosun原子層沉積機，日本/德國電子顯微鏡/FIB-SEM, 日本理音RION液體光學顆粒度儀，德國Bruker布魯克原子力顯微鏡/微納表征/光譜儀, 美國THERMO FISHER賽默飛光譜/色譜/質(zhì)譜/波譜儀，美國Sonix超聲波顯微鏡, 德國KSI超聲波顯微鏡，德國耐馳Netzsch熱分析儀, 德國Optosol吸收率發(fā)射率檢測儀, 俄羅斯Optosystem準分子激光器，日本SEN UV清洗機/UV清洗燈，美國Jelight紫外清洗機/紫外燈管，德國等離子清洗機/去膠機等先進技術(shù)產(chǎn)品。

我們以高性價比的優(yōu)勢為客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務，為高等院校, 科研院所，科技企業(yè)等高端客戶提供儀器設(shè)備和材料。

客戶參考（排名不分先后）:

企業(yè)客戶：華為技術(shù)有限公司，深圳市鵬芯微集成電路制造，深圳清力技術(shù)，安徽格恩半導體，蘇州稀晶半導體科技，矽品半導體，廈門海辰新能源科科，中核同創(chuàng)（成都）科技，洛瑪瑞芯片技術(shù)（常州），偉創(chuàng)力科技，奧普科星河北科技，廣東五星太陽能，廣東萬和集團，西安西測股份，普源精電科技，普源精電科技股份，上海蔚來汽車，北京華脈泰科，廣醫(yī)東金灣高景太陽能科技，深圳匯佳成電子，深圳市化訊半導體材料，珠海珍迎機電，合肥鼎材科技，山東金晶節(jié)能玻璃，江蘇云意電氣股份，廣東風華高新科技技股份，浙江中能合控股集團，四川信通電子科技等。

科研院所/高等院校： 北京航空航天大學，汕頭大學，南方醫(yī)科大學，清華大學，北京大學，復旦大學，西北工業(yè)大學，南京醫(yī)科大學，香港中文大學，香港城市大學，蘇州大學，深圳職業(yè)技術(shù)學院，南京大學合肥國家試驗室，上海交通大學醫(yī)學院，華南理工大學，深圳大學，南方科技大學，深圳技術(shù)大學，中國科學院理化技術(shù)研究所，中國工程物理研究院激光聚變研究中心，廣東粵港澳大灣區(qū)黃埔材料研究院，桂林電子科技大學，上海硅酸鹽研究所，中國航天五院，中科合肥智慧農(nóng)業(yè)協(xié)同創(chuàng)新研究院等。

我們熱誠歡迎國內(nèi)外客戶, 先進儀器設(shè)備/材料制造商, 科技企業(yè)及醫(yī)療機構(gòu)與我們聯(lián)系開展各層面的合作共創(chuàng)價值共贏！

產(chǎn)品：光刻機（針尖/電子束光刻機EBL，紫外光刻機，激光直寫光刻機），鍍膜機（磁控濺射機，電子束蒸發(fā)機，化學沉積機，微波等離子沉積機，原子層沉積機ALD），等離子刻蝕機ICP/RIE，去膠機，雙光子微納3D系統(tǒng)，準分子激光器，顆粒度儀，原子力顯微鏡，電子顯微鏡/FIB-SEM，超聲波掃描顯微鏡，開封機，太陽能吸收率發(fā)射率檢測儀，紫外臭氧清洗機，UV清洗機，晶圓清洗機，UV清洗燈，曝光燈，光刻膠/UV膠，晶圓/硅片/外延片等。

深圳地址：深圳寶安區(qū)福海街道展城社區(qū)展景路83號會展灣中港廣場6棟B座902

香港地址：Flat/RM 803 Chevalier House 4551 Chatham Road South Tsim Sha Tsui KL HK .
TEL：0852-26681868, 26681899

感謝您的關(guān)注 Thanks for your attention ^_^

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