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德國Sentech 多晶圓等離子體反應(yīng)刻蝕機

企業(yè)檔案

深圳市藍星宇電子科技有限公司

7 營業(yè)執(zhí)照已上傳

企業(yè)類型:代理商

公司地址:深圳市寶安區(qū)福海街道展城社區(qū)展景路83號會展灣中港廣場6棟B座902

主營產(chǎn)品:機械設(shè)備研發(fā),工程和技術(shù)研究和試驗發(fā)展,半導(dǎo)體器件專用設(shè)備銷售,光學(xué)儀器銷售,電子測量儀器銷售,實驗分析儀器銷售,電子專用材料銷售。

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產(chǎn)品簡介

德國Sentech 多晶圓等離子體反應(yīng)刻蝕機 Etchlab 380,最大 300 mm 晶圓,用于多個晶圓的 380 mm 載體

詳細(xì)內(nèi)容

詳細(xì)內(nèi)容

公司簡介


德國Sentech  多晶圓等離子體反應(yīng)刻蝕機 Etchlab 380



主要特點

·打開蓋子

·300 mm 晶圓

·380 毫米托架

·多片加工


應(yīng)用特點

·硅及相關(guān)材料的蝕刻

·金屬濺射

·亞微米蝕刻


技術(shù)特點

·600 瓦/1100 瓦,13.56 MHz

·360 升/秒渦輪分子泵

·旋轉(zhuǎn)前級泵

·打開蓋子

·多達 12 條燃?xì)夤芫

·最大 300 mm 晶圓

·用于多個晶圓的 380 mm 載體

·設(shè)計緊湊,占地面積小



關(guān)鍵詞:德國Sentech    多晶圓等離子體反應(yīng)刻蝕機  Etchlab  380    多晶圓等離子體反應(yīng)刻蝕機  Etchlab  380  

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