薄膜計(jì)量膜厚探頭

1. 產(chǎn)品概述

FTPadv是一種經(jīng)濟(jì)高效的臺(tái)式光譜反射解決方案，具有快速厚度測(cè)量功能。測(cè)量時(shí)間不到 100 ms，精度低于 0.3 nm，膜厚范圍為 50 nm – 25 μm。包括一系列預(yù)定義的配方，便于光譜反射儀操作。

2. 主要功能與優(yōu)勢(shì)

獲得薄膜厚度的短方法

通過(guò)選擇并開(kāi)始適當(dāng)?shù)呐浞�，SENTECH FTPadv 反射儀可在不到 100 ms 的時(shí)間內(nèi)完成厚度測(cè)量，精度小于 0.3 nm，厚度范圍為 30 nm – 25 μm。

AutoModel 功能和基于 SE 的材料庫(kù)

通過(guò)比較測(cè)得的反射光譜和光譜庫(kù)，可以將操作員的誤差降低�；�于SENTECH的橢圓偏振光譜儀測(cè)量的大型材料庫(kù)，為新材料的光學(xué)常數(shù)測(cè)量提供了方法。

應(yīng)用業(yè)知識(shí)

30 多年來(lái)，SENTECH 已成功銷售用于各種應(yīng)用的 FTPadv 膜厚探頭。這款臺(tái)式反射儀可在工業(yè)或研究環(huán)境中，通過(guò)遠(yuǎn)程或直接控制，在低溫或高溫下，原位或在線測(cè)量小樣品到大窗玻璃的厚度。

3. 靈活性和模塊化

SENTECH FTPadv的一個(gè)關(guān)鍵特性是可以測(cè)量多層樣品中任何層的厚度，這使得FTPadv成為膜厚測(cè)量的理想、經(jīng)濟(jì)高效的解決方案。用于過(guò)程控制的FTPadv包括一個(gè)帶有柱子和樣品架的光纖束、一個(gè)帶鹵素?zé)舻姆�(wěn)定光源以及FTP光學(xué)器件和控制器站。通過(guò)LAN連接到PC，可以在惡劣的工業(yè)應(yīng)用環(huán)境、受到特殊保護(hù)的房間或大型機(jī)械中遠(yuǎn)程控制工具。

反射儀 FTPadv 帶有大量預(yù)定義的配方，例如半導(dǎo)體上的電介質(zhì)、半導(dǎo)體上的半導(dǎo)體、硅上的聚合物、透明基板上的薄膜、金屬基板上的薄膜等。自動(dòng)建模功能允許通過(guò)與光譜庫(kù)進(jìn)行比較來(lái)快速檢測(cè)樣品類型。該反射儀將操作員錯(cuò)誤降低。通過(guò)光學(xué)反射測(cè)量薄膜厚度從未如此簡(jiǎn)單。

FTPadv菜單驅(qū)動(dòng)的操作軟件允許在出色的操作員指導(dǎo)下對(duì)單層和多層結(jié)構(gòu)進(jìn)行厚度測(cè)量。此外，它還具有強(qiáng)大的分析工具和出色的報(bào)告功能。額外的映射軟件可用于控制電動(dòng)樣品臺(tái)。將軟件升到軟件包FTPadv EXPERT，用于反射測(cè)量的高分析，通過(guò)應(yīng)用具有未知或不同光學(xué)特性的材料，擴(kuò)展了標(biāo)準(zhǔn)軟件包。因此，可以進(jìn)行厚度測(cè)量以及單片薄膜的折射率和消光系數(shù)分析。

深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)。

提供半導(dǎo)體制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng)，軟件著作權(quán) 14 項(xiàng)，是國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)、創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。