掩膜是指集成電路制造所用的掩膜通常是縮小倍數(shù)的掩膜。制作掩膜是用電子束曝光系統(tǒng)將圖形直接轉(zhuǎn)移到對(duì)電子束敏感的掩膜上。掩模由鍍鉻玻璃板組成。電路圖形先被轉(zhuǎn)移到對(duì)電子敏感的掩模上,再被轉(zhuǎn)移到下面的鍍鉻層上,終得到需要的掩模。 一塊掩膜上的圖形代表了集成電路設(shè)計(jì)中的一層。綜合的布布線圖按照集成電路制造對(duì)應(yīng)的工序分成若干塊掩模層,例如隔離區(qū)是一層,柵區(qū)是另一層等。一般一個(gè)完整的集成電路工藝流程需要15~20層不同的掩膜。
精密高溫?zé)岚,掩膜版加熱臺(tái)性能
加熱面尺寸:160*160/220*220/350*350,可定制
溫度分辨率 :0.1℃
溫度波動(dòng)度:≤±0.5℃
溫度均勻性:≤±0.5%℃
溫度范圍:RT+5-200/350/450/600℃
可定制功能:真空/PIN/充氮/程序烘烤等
加熱盤(pán)面經(jīng)陽(yáng)氧化處理,具有更好耐腐蝕性, 更耐刮, 質(zhì)感更佳;
采用熱傳導(dǎo)率優(yōu)異的鋁合金板材,盤(pán)面均溫性能優(yōu)異,長(zhǎng)時(shí)間高溫下不變形;
精密加工,一體成型,使盤(pán)面擁有 高的平整度;
采用高性能電熱管加熱,升溫快,熱效率高,使用壽命更長(zhǎng),維護(hù)簡(jiǎn)單;
外殼采用不銹鋼材質(zhì),美觀耐用,傳熱慢,潔凈易維護(hù)。
精密高溫?zé)岚,掩膜版加熱臺(tái)用途
精密高溫?zé)岚,掩膜版加熱臺(tái)應(yīng)于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆后,薄膜烘干,固化。固化光刻膠,固化環(huán)氧塑脂,掩膜版烘烤,柔性線路檢測(cè),穿戴技術(shù)傳感器校準(zhǔn),放入手套箱內(nèi)等。適用于光刻工藝的烘和堅(jiān)膜、電路模塊的涂敷燒結(jié)和考核等工藝。
關(guān)鍵詞:
掩膜版加熱臺(tái)
上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司主要生產(chǎn)HMDS預(yù)處理系統(tǒng),HMDS烤箱,潔凈烤箱,無(wú)氧烤箱,無(wú)塵無(wú)氧固化烤箱,LED烤箱,UV固化烤箱,隧道烘箱,黑蒜發(fā)酵設(shè)備、橡塑檢測(cè)設(shè)備、電線電纜檢測(cè)設(shè)備、半導(dǎo)體設(shè)備及實(shí)驗(yàn)室儀器的高新技術(shù)型企業(yè),具有很強(qiáng)的自主開(kāi)發(fā)、設(shè)計(jì)能力,服務(wù)于電子、電力、通訊、環(huán)保、農(nóng)業(yè),建筑,節(jié)能、航空航天等行業(yè);多年來(lái),公司以“真摯的服務(wù)、的品質(zhì)”為宗旨,為國(guó)內(nèi)外廣大用戶(hù)提供了周到的售、售中、售后服務(wù)。贏得了國(guó)內(nèi)外客戶(hù)的一致好評(píng),更為我們業(yè)務(wù)的快速發(fā)展奠定了一定的基礎(chǔ)。我們的服務(wù)也更精益求精,更完善!能夠完成儀器儀表工程產(chǎn)品配套和維修服務(wù)!
主要業(yè)務(wù)項(xiàng)目有HMDS預(yù)處理系統(tǒng),HMDS烘箱,無(wú)氧化烘箱,真空無(wú)氧烤箱,氮?dú)夂嫦,潔凈烤箱,無(wú)氧烤箱,無(wú)塵無(wú)氧固化烤箱,高精度加熱臺(tái),精密恒溫?zé)岚,LED烤箱,PI/CPI/BCB/PBO/LCP固化烤箱,半導(dǎo)體工藝設(shè)備。黑蒜加工設(shè)備,黑蒜發(fā)酵設(shè)備,超低溫試驗(yàn)箱,超低溫沖擊試驗(yàn)箱,-150度高低溫試驗(yàn)箱,恒溫恒濕試驗(yàn)箱,真空烘箱,熱風(fēng)真空烤箱,環(huán)境檢測(cè)儀器,實(shí)驗(yàn)室研究儀器,橡塑檢測(cè)儀器,電纜檢測(cè)儀器設(shè)備等。