精密烤膠機(jī)，高精度烘膠臺

    光刻工藝及其相關(guān)技術(shù)是微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)加工工藝的重要組成部分.均膠和烘干是光刻工藝中不可缺少的一道工序,為增加膠層與硅片表面粘附能力,提高在接觸式曝光中膠層與掩模版接觸時(shí)的耐磨性能及穩(wěn)定膠層的感光靈敏度,通常采用烘箱或熱板等加熱設(shè)備對光刻膠進(jìn)行干燥.由于熱板易于達(dá)到在膠的厚度方向快速均勻烘干等要求,目越來越多地采用電熱板加熱的方式. 熱板的表面溫度均勻性,溫度控制精度,溫度上升速度等是熱板的主要性能指標(biāo).我司針對研究的需要設(shè)計(jì)了一種溫度控制精度高,板面溫度均勻性好,成本低的電加熱板,用于光刻膠的烘干.

精密烤膠機(jī)，高精度烘膠臺應(yīng)用行業(yè)：

    用于晶圓的單面烘烤，可用于預(yù)烘烤（Pre-bake），烘（soft bake），底膠涂覆（Primer Vapor）和后烘烤(hardbake堅(jiān)膜)工藝。適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片，掩膜版（光罩），柔性電路，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆后，薄膜烘干，固化。

精密烤膠機(jī)，高精度烘膠臺的性能：

加熱面積尺寸：160mm*160mm、220mm*220mm，多尺寸，多工位定制  

控溫范圍：室溫－－200、300℃

溫度分辨率 ：0.1℃     

溫度波動度：≤±0.5℃         

溫度均勻性：≤±0.5℃

電源輸入：AC220V 10A           

加熱功率：1500W

熱板表面:由硬質(zhì)陽氧化鋁制成

可定制功能：

支撐pin材料

邊緣支撐pin

N2吹掃，無氧化烘烤

烘焙距離可調(diào)模組

真空腔體

智能控制系統(tǒng)

        上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司主要生產(chǎn)HMDS預(yù)處理系統(tǒng)，HMDS烤箱，潔凈烤箱，無氧烤箱，無塵無氧固化烤箱，LED烤箱，UV固化烤箱，隧道烘箱，黑蒜發(fā)酵設(shè)備、橡塑檢測設(shè)備、電線電纜檢測設(shè)備、半導(dǎo)體設(shè)備及實(shí)驗(yàn)室儀器的高新技術(shù)型企業(yè)，具有很強(qiáng)的自主開發(fā)、設(shè)計(jì)能力,服務(wù)于電子、電力、通訊、環(huán)保、農(nóng)業(yè)，建筑，節(jié)能、航空航天等行業(yè)；多年來，公司以“真摯的服務(wù)、的品質(zhì)”為宗旨，為國內(nèi)外廣大用戶提供了周到的售、售中、售后服務(wù)。贏得了國內(nèi)外客戶的一致好評，更為我們業(yè)務(wù)的快速發(fā)展奠定了一定的基礎(chǔ)。我們的服務(wù)也更精益求精，更完善！能夠完成儀器儀表工程產(chǎn)品配套和維修服務(wù)！
       主要業(yè)務(wù)項(xiàng)目有HMDS預(yù)處理系統(tǒng)，HMDS烘箱，無氧化烘箱，真空無氧烤箱，氮?dú)夂嫦�，潔凈烤箱，無氧烤箱，無塵無氧固化烤箱，高精度加熱臺，精密恒溫?zé)岚澹琇ED烤箱，PI/CPI/BCB/PBO/LCP固化烤箱，半導(dǎo)體工藝設(shè)備。黑蒜加工設(shè)備，黑蒜發(fā)酵設(shè)備，超低溫試驗(yàn)箱，超低溫沖擊試驗(yàn)箱，-150度高低溫試驗(yàn)箱，恒溫恒濕試驗(yàn)箱，真空烘箱，熱風(fēng)真空烤箱，環(huán)境檢測儀器，實(shí)驗(yàn)室研究儀器，橡塑檢測儀器，電纜檢測儀器設(shè)備等。