化學氣相沉積設備產(chǎn)品及廠家
德國iplas微波等離子化學氣相沉積 iplas mpcvd 915mhz系統(tǒng),德國 iplas公司的獨家利多天線耦合微波等離子技術（cyrannus®），可在反應腔中實現(xiàn)高的 sp3 鍵轉化率，使得腔體中充滿過飽和原子氫和含碳基團，從而有效地提高了沉積速率并且使得金剛石的沉積質量得到改善，這正是獲取優(yōu)質金剛石的技術基礎。
更新時間:2025-09-11
德國netzsch 差示掃描量熱儀dsc 3500 sirius，該技術操作簡便，分析快速，在研發(fā)、制造和質量檢驗域中逐漸成為不可取代的檢測技術。針對具體材料、產(chǎn)品的應用和性能評估及解析，對應有各種各樣的標準（如astm，din，iso等）。
更新時間:2025-09-11
德國iplas mpcvd cyrannus® 利技術微波等離子化學氣相沉積系統(tǒng)，廣泛應用于第四代半導體，射頻器件，散熱器件，光學窗口等高科技令域，晶圓生長金剛石膜，被譽為半導體終材料。
更新時間:2025-09-11
syskey 緊湊式濺射系統(tǒng) compact sputter，- 靈活的基板尺寸，最大可達6英寸- 基板架加熱溫度最高可達500℃- 出 色的薄膜均勻性，誤差小于±3％- 最多可配備5個6英寸磁控濺射源（可選配3或4個）- 支持射頻、直流或脈沖直流電源- 最 多可支持3條氣體管路- 支持順序沉積和共沉積- 可選配負載鎖定腔室
更新時間:2025-09-11
syskey 緊湊式熱蒸發(fā)系統(tǒng) compact thermal 靈活的基板尺寸，最大可達6英寸- 基板架加熱溫度最高可達500℃- 出 色的薄膜均勻性，誤差小于±3％- 可選配電子束或熱舟蒸發(fā)源（最多3個）- 速率控制沉積- 可沉積多層薄膜，選用特定目標材料- 可選配負載鎖定腔室
更新時間:2025-09-11
高真空濺射系統(tǒng) hv sputter，靈活的基板尺寸，最大可達12英寸或200×200毫米- 基板架加熱溫度最高可達800℃- 出 色的薄膜均勻性，誤差小于±3％- 最多可配備5個6英寸磁控濺射源（可選配3或4個）- 支持射頻、直流或脈沖直流，適用于非導電或導電靶材- 可選配射頻清洗和刻蝕功能- 可沉積多層薄膜，選用特定目標材料- 可與其他沉積系統(tǒng)集成
更新時間:2025-09-11
超高真空磁控濺射鍍膜機 uhv sputter,? 基板支架加熱至 800 °c? 優(yōu) 異的薄膜均勻性小于 ±3％? 磁控濺射源（數(shù)量最多 8 個），可選強磁版本? 用于非導電或導電目標的射頻、直流或脈沖直流? 使用選定的目標材料沉積多層薄膜? 可與其他特高壓沉積系統(tǒng)集成
更新時間:2025-09-11
syskey 高真空熱蒸發(fā)鍍膜機hv thermal，全自動系統(tǒng)可滿足各種應用要求，包括oled、opv、opd等。? 基板支架水冷或油冷? 優(yōu) 異的薄膜均勻性小于 ±3％? 船和電池源（數(shù)量最多 12 個）? 可以共蒸發(fā)和摻雜? 用選定的目標材料沉積多層薄膜- 可與手套箱集成
更新時間:2025-09-11
syskey 超高真空熱蒸發(fā)鍍膜機uhv thermal, ? 靈活的基板尺寸可達 8 英寸? 基板支架加熱至 800 °c? 優(yōu) 異的薄膜均勻性小于 ±3％? 船和電池源（數(shù)量最多 6 個）? 可以共蒸發(fā)和摻雜。? 用選定的目標材料沉積多層薄膜? 可與其他沉積系統(tǒng)集成
更新時間:2025-09-11
syskey 高真空電子束鍍膜系統(tǒng) hv e-beam,靈活的基板尺寸可達 12 英寸? 基板支架加熱至 800 °c 或水/油/ln2 冷卻? 優(yōu) 異的薄膜均勻性小于 ±3％? 4/6/8 個口袋電子束源（每個口袋最多 40 cc）? 6 kw 電源可支持大部分材料蒸發(fā)? 用選定的目標材料沉積多層薄膜? 可與其他沉積技術或沉積系統(tǒng)集成
更新時間:2025-09-11
syskey lift-off e-beam 電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)，靈活的基板尺寸可達 12 英寸? 基板支架水、油或 ln2 冷卻? 優(yōu) 異的薄膜均勻性小于 ±3％? 4/6/8 個口袋電子束源（每個口袋最多 40 cc）? 6 kw 電源可支持大部分材料蒸發(fā)? 用選定的目標材料沉積多層薄膜? 負載鎖定是可選的，效率高? 可與其他沉積系統(tǒng)集成? 樣品傾斜是可選的
更新時間:2025-09-11
syskey 超高真空電子束鍍膜 uhv e-beam, ? 靈活的基板尺寸可達 12 英寸? 基板支架水、油或 ln2 冷卻和傾斜? 優(yōu) 異的薄膜均勻性小于 ±3％? 4/6/8 個口袋電子束光源（每個口袋最多 40 cc）? 6 kw 電源可支持大部分材料蒸發(fā)? 用選定的目標材料沉積多層薄膜? 2.pngtorr 是可選的鋁基約瑟夫森結? 可與其他沉積系統(tǒng)集成
更新時間:2025-09-11
syskey 積沉多腔體鍍膜系系統(tǒng) pvd cluster,靈活的基板尺寸可達 12 英寸? 基板支架加熱或冷卻? 優(yōu) 異的薄膜均勻性小于 ±3％? 濺射/電子束/熱/離子蝕刻/氧化/退氣? 用選定的目標材料沉積多層薄膜? torr 可選擇用于不同的設備- 可與手套箱集成
更新時間:2025-09-11
syskey 小型多腔體鍍膜機 mini cluster, 靈活的基板尺寸可達 2 英寸。? 基板支架加熱或冷卻。? 優(yōu) 異的薄膜均勻性小于 ±3％。? 濺射/電子束/熱/離子蝕刻/氧化/退氣? 用選定的靶材沉積多層薄膜。? torr 可針對不同設備進行選擇。- 可與手套箱集成。
更新時間:2025-09-11
syskey 等離子增強原子沉積 peald,我們生產(chǎn)用于超薄氧化物和氮化物涂層的 ald 和 peald 系統(tǒng)。6 前體線路可支持5種材料沉積，氣體管路拓寬反應窗戶。緊湊的手套箱集成不占用額外的實驗室空間。
更新時間:2025-09-11
syskey 等離子增強化學氣相沉積 pecvd? 靈活的基板尺寸可達 12 英寸? 基板支架加熱至 400 °c? 優(yōu) 異的薄膜均勻性，低于 ±5％? 6 條反應性氣體管路，適用于 sio2、si3n4 沉積? 用選定的目標材料沉積多層薄膜? 負載鎖定是可選的? 等離子自清潔是可選的? teos 工藝是可選的
更新時間:2025-09-11
syskey rie 反應離子刻蝕機，我們生產(chǎn)用于氧化物和氮化物蝕刻的 rie 系統(tǒng)。氣體管線可實現(xiàn)硅基材料刻蝕。全自動作，支持一鍵工序。
更新時間:2025-09-11
syskey 感應耦合-反應離子刻蝕機 icp-rie,用于氧化物和氮化物蝕刻的 icp-rie 系統(tǒng)。氣體管線可實現(xiàn)金屬蝕刻。全自動作，支持一鍵工序。
更新時間:2025-09-11
syskey 離子束刻蝕機 ibe, 離子束蝕刻（ibe）是一種先 進的蝕刻技術，利用離子源去除來自基材表面的材料具有卓 越的均勻性和精度。國際教育局可以適用于金屬、氧化物、半導體、有機物等多種材料化合物。這種蝕刻方法涉及使用帶電粒子的高能束，通常是氬離子，用于物理去除樣品表面的材料。
更新時間:2025-09-11
syskey cvd cluster 化學氣相沉積，pecvd和peald系統(tǒng)可以組合在一起，實現(xiàn)薄膜的多層沉積封裝。單室僅用于某些薄膜沉淀。樣品在兩者之間轉移自動處理腔室。
更新時間:2025-09-11
pe-cvd結構特點介紹：pecvd系列真空管式高溫燒結爐如圖所示,集控制系統(tǒng)與爐膛為一體；2、爐襯使用真空成型高純氧化鋁聚輕材料，采用進口高溫合金電阻絲為加熱元件；3、高純石英管橫穿于爐體中間作為的爐膛，爐管兩端用不銹鋼法蘭密封，工件式樣在管中加熱，加熱元件與爐管平行，均勻地分布在爐管外，有效的保證了溫場的均勻性；支持定制15611171559.
更新時間:2025-09-11
提供大面積刻蝕與沉積的量產(chǎn)型解決方案，led工業(yè)要求高產(chǎn)量，高器件質量和低購置成本。 plasmapro 1000更好地解決了這些需求。
更新時間:2025-09-09
plasmapro 80是一種結構緊湊且使用方便的小型直開式系統(tǒng)，可以提供多種刻蝕和沉積的解決方案。 它易于放置，便于使用，且能確保工藝性能。直開式設計可實現(xiàn)快速晶圓裝卸，是研究、原型設計和小批量生產(chǎn)的理想選擇。 它通過優(yōu)化的電冷卻和出色的襯底溫度控制來實現(xiàn)高性能工藝。
更新時間:2025-09-09
plasmapro 800 為大批量晶圓和 300mm 晶圓的等離子增強化學氣相沉積 （pecvd） 工藝提供了靈活的解決方案，它采用了緊湊的開放式裝載系統(tǒng)？蓪崿F(xiàn)大型晶圓大規(guī)模的批量生產(chǎn)和 300mm 晶圓處理。具有460mm直徑的工作臺，擁有處理整片的300mm晶圓或大批量43 x 50mm（2”）晶圓的能力， 可提供全套量產(chǎn)解決方案。plasmapro 800是的市場列產(chǎn)品。
更新時間:2025-09-09
設計pecvd工藝模式的目的是要在控制薄膜性能，如折射率、應力、電學特性和濕法化學刻蝕速率的提下，生產(chǎn)均勻性好且沉積速率高的薄膜。plasmapro 100 pecvd 由于電溫度均勻性和電
更新時間:2025-09-09
該icpcvd工藝模塊設計用于在低生長溫度下生產(chǎn)高質量的薄膜，通過高密度遠程等離子體實現(xiàn)，從而實現(xiàn)優(yōu)秀的薄膜質量，同時減少基板損傷。
更新時間:2025-09-09
g10-碳化硅150 mm 和 200 mm – 支持雙晶圓尺寸 – 為您的未來投資提供保障市場上高的晶圓產(chǎn)量 / m2市場上晶圓出色的運行過程性能高度均勻、低缺陷的 sic 外延工藝，可實現(xiàn)大的芯片良率
更新時間:2025-09-09
化合物半導體沉積系統(tǒng)用于研發(fā)的封閉耦合淋浴噴頭® ccs系統(tǒng)“用于研發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)的靈活mocvd系統(tǒng)”
更新時間:2025-09-09
化合物半導體沉積系統(tǒng)“行星式反應器模塊，用于在150/200毫米襯底（si/藍寶石/sic）上應用氮化鎵，可提高生產(chǎn)率和晶圓性能”
更新時間:2025-09-09
化合物半導體沉積系統(tǒng)aix g5 ww c“下一代碳化硅電力電子器件的佳性能，以應對全球大趨勢”高吞吐量批量外延與單晶圓控制 - 兩全其美。
更新時間:2025-09-09
sentech sipar icp沉積系統(tǒng)是為使用靈活的系統(tǒng)架構的各種沉積模式和工藝開發(fā)和設計的。該工具包括 icp 等離子體源 ptsa、一個動態(tài)溫控基板電和一個受控的真空系統(tǒng)。該系統(tǒng)將等離子體增強化學氣相沉積 （pecvd） 和原子層沉積 （ald） 結合在一個反應器中。
更新時間:2025-09-09
sentech depolab 200 是基本的等離子體增強化學氣相沉積 （pecvd） 系統(tǒng)，適用于沉積用于蝕刻掩模、膜和電隔離膜以及許多其他材料的介電膜。結合了用于均勻薄膜沉積的平行板電設計的優(yōu)點和靈活的直接加載設計。從 2 英寸至 200 毫米晶圓和樣品片的標準應用開始。
更新時間:2025-09-09
shale® c系列電感耦合等離子體化學氣相沉積設備（icp-cvd），通過電感耦合（icp）產(chǎn)生高密度等離子體，并通過電容耦合（ccp）產(chǎn)生偏壓，可實現(xiàn)低溫、高致密、低損傷、優(yōu)填充能力的薄膜沉積工藝。該設備采用了8英寸產(chǎn)線設備所通用的國際標準零部件，符合semi的設計標準，并通過了嚴苛的穩(wěn)定性和可靠性測試驗證。
更新時間:2025-09-09
shale® a系列等離子體增強化學氣相沉積設備（pecvd），通過平行電容板電場放電產(chǎn)生等離子體，可以在400℃及以下沉積比較致密、均勻性較好的氧化硅、teos、bpsg、氮化硅、氮氧化硅、非晶硅、非晶碳、非晶碳化硅等薄膜。該設備采用了8英寸產(chǎn)線設備所通用的國際標準零部件，符合semi的設計標準，并通過了嚴苛的穩(wěn)定性和可靠性測試驗證。
更新時間:2025-09-09
ad-230lp是一種原子層沉積（ald）系統(tǒng)，能夠在原子水平上控制薄膜厚度。有機金屬原料和氧化劑交替供給反應室，僅通過表面反應進行薄膜沉積。該系統(tǒng)具有負載鎖定室，且不向大氣開放反應室，因此能夠實現(xiàn)薄膜沉積的優(yōu)良再現(xiàn)性。
更新時間:2025-09-09
pd-200stl是一種用于研發(fā)的低溫(80~400℃)、高速(>300nm/min)等離子體增強型cvd系統(tǒng)。samco的液態(tài)源cvd系統(tǒng)采用自偏置沉積技術和液態(tài)teos源，以低應力沉積sio2薄膜，從薄膜到厚的薄膜（高達100μm）。pd-200stl具有時尚、緊湊的設計，只需要小的潔凈室空間。
更新時間:2025-09-09
pd-100st是一種用于研發(fā)的低溫(80 ~ 400°c)、高速(>300 nm/min)等離子體增強cvd系統(tǒng)。samco的液態(tài)源cvd系統(tǒng)采用自偏置沉積技術和液態(tài)teos源，以低應力沉積sio2薄膜，從薄膜到厚的薄膜（高達100 µm）。pd-100st具有時尚、緊湊的設計，只需要小的潔凈室空間。
更新時間:2025-09-09
化合物半導體沉積系統(tǒng)aix 2800g4-tm （ic2）“基于 gaas/inp 的光電子學和射頻應用的 hvm 佳反應器”
更新時間:2025-09-09
mocvd系統(tǒng)主要由真空室反應系統(tǒng)、氣體（載氣與氣相有機源）輸運控制系統(tǒng)、有機源蒸發(fā)輸運控制系統(tǒng)、電源控制系統(tǒng)、尾氣處理及安全保護報警系統(tǒng)組成。
更新時間:2025-09-09
產(chǎn)品概述：系統(tǒng)主要由真空反應室、上蓋組件、熱絲架、基片加熱臺、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、安裝機臺、真空測量及電控系統(tǒng)等部分組成。設備用途：pecvd就是化學氣相沉積法，是一種化工技術，該技術主要
更新時間:2025-09-09
系統(tǒng)主要由3個真空沉積室（分別沉積p、i、n結）、1個進樣室、1個中央傳輸室、平板式電、基片加熱臺、工作氣路、傳送機械手、抽氣系統(tǒng)、安裝機臺、射頻電源、甚高頻電源、尾氣處理裝置、真空測量及電控系統(tǒng)等部分組成。
更新時間:2025-09-09
系統(tǒng)主要由真空反應室、上蓋組件、噴淋頭裝置、熱絲架、基片加熱臺、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、安裝機臺、真空測量及電控系統(tǒng)等部分組成。本系統(tǒng)具有pecvd功能和熱絲cvd功能。
更新時間:2025-09-09
用于 5g、光子學和 cmos 的 propel 300mm gan mocvd 系統(tǒng)全自動單晶圓簇系統(tǒng)可在 300 毫米基板上生產(chǎn) 5g 射頻、光子學和高 cmos 器件。
更新時間:2025-09-09
用于 led 生產(chǎn)的 turbodisc epik 868 mocvd 系統(tǒng)
更新時間:2025-09-09
pd-220nl 是一種負載鎖定等離子體增強化學氣相沉積 (pecvd) 系統(tǒng)，能夠沉積硅基薄膜（氧化硅、氮化硅、氧氮化硅和非晶硅）。該系統(tǒng)以非常緊湊的占地面積提供了pecvd的所有標準功能？稍谥睆220毫米的區(qū)域內沉積具有優(yōu)異厚度均勻性和應力控制的薄膜，并具有優(yōu)異的穩(wěn)定性和可重復性。用戶友好的觸摸屏界面，用于參數(shù)控制和配方存儲。該系統(tǒng)是研發(fā)用薄膜沉積以及試生產(chǎn)的理想選擇。
更新時間:2025-09-09
pd-3800l 化學氣相沉積系統(tǒng)是一種能夠沉積硅基薄膜（氧化硅、氮化硅、氧氮化硅和非晶硅）的鎖載等離子體增強化學氣相沉積（pecvd）系統(tǒng)。該系統(tǒng)由于采用了大型反應室，并通過載盤裝載多片晶圓進行批量處理，因此產(chǎn)量較高。在直徑360mm的區(qū)域內可以沉積出具有優(yōu)異的厚度均勻性和應力控制的薄膜，具有優(yōu)異的穩(wěn)定性和可重復性。用戶友好的觸摸屏界面用于參數(shù)控制和配方存儲。
更新時間:2025-09-09
pd-2201lc 是一種盒式裝載等離子體增強化學氣相沉積 (pecvd) 設備，能夠沉積硅基薄膜（氧化硅、氮化硅、氧氮化硅和非晶硅）。該系統(tǒng)在節(jié)省空間的提下提供了pecvd的所有標準功能？稍谥睆220毫米的區(qū)域內沉積具有優(yōu)異厚度均勻性和應力控制的薄膜，并具有優(yōu)異的穩(wěn)定性和可重復性。
更新時間:2025-09-09
本裝置是為了在汽車用head lamp部分提高al的附著性,用plasma,al sputter,cvd法實施sio2 top coating的設備,是縮短生產(chǎn)時間,工序和佳的matching設備.
更新時間:2025-09-09
最新產(chǎn)品
- 科研豚鼠裸鼠倉鼠Smad同源物1(Smad1/MADH1)ELISA試劑盒 2025/9/11 17:49:40
- 智慧校園空氣質量報告公示微型空氣監(jiān)測站 實時監(jiān)測空氣超標報警 2025/9/11 17:47:57
- 科研說明書乳脂球表皮生長因子8(MFGE8)ELISA試劑盒 2025/9/11 17:44:20
- 錦鯉成魚養(yǎng)殖池塘水質在線監(jiān)測站 核心四項參數(shù)水質實時監(jiān)測系統(tǒng) 2025/9/11 17:40:21
- 科研核糖體蛋白L10(RPL10)ELISA試劑盒樣本收集 2025/9/11 17:39:15
- 極威生物人大小鼠兔干細胞因子受體(SCFR/c-Kit)ELISA試劑盒 2025/9/11 17:34:19
- DATAPAQ爐溫跟蹤儀EASYTRACK 3 ET4043 2025/9/11 17:32:02
- 科研豬犬貓猴基質細胞衍生因子2(SDF2)ELISA試劑盒 2025/9/11 17:28:46
- 華測儀器電弱點測試儀 2025/9/11 17:27:37
- DATAFORTH模塊SCMPB07-2 2025/9/11 17:26:35
- 科研細胞色素P450家族成員1A1(CYP1A1)ELISA試劑盒樣本收集 2025/9/11 17:24:29
- DAMAN閥C-35541 2025/9/11 17:20:16
- 德國西門子通訊模塊 2025/9/11 17:19:24
- 科研抗鈣調素特異抗體(CAM-Ab)ELISA試劑盒實驗方法 2025/9/11 17:18:30
- 上海希而科可以提供kistler奇石樂傳感器 2025/9/11 17:17:20
- 希而科低價出售德國原裝Spieth DSM 19.1軸套 2025/9/11 17:14:54
- COHERENT激光頭聚焦模塊39-99-00-0891 2025/9/11 17:14:25
- 極威生物豚鼠裸鼠倉鼠血清淀粉樣蛋白A2(SAA2)ELISA試劑盒 2025/9/11 17:13:09
- 希而科快速報價進口Spieth FSK 60.85軸套 2025/9/11 17:11:09
- 德國西門子通訊模塊 2025/9/11 17:09:19
- 德國西門子通訊模塊 2025/9/11 17:08:55
- 德國西門子通訊模塊 2025/9/11 17:08:44
- 德國西門子通訊模塊 2025/9/11 17:08:34
- 德國西門子通訊模塊 2025/9/11 17:08:20
- 德國西門子通訊模塊 2025/9/11 17:08:09
- 科研牛馬綿山羊二硫辛酰胺脫氫酶(DLD)ELISA試劑盒 2025/9/11 17:08:06
- 德國西門子通訊模塊 2025/9/11 17:07:57
- 德國西門子通訊模塊 2025/9/11 17:07:44
- 德國西門子通訊模塊 2025/9/11 17:07:30
- 德國西門子通訊模塊 2025/9/11 17:07:19